【专利推介】中国船舶重工集团公司第七二五研究所专题（第三期）

为了进一步提高专利实施质量，提高专利应用效率，推动企业创新发展，促进科技成果的有效转化，洛阳华合推广 中国船舶集团有限公司第七二五研究所专利，欢 迎关注以下专利，如有合作意向，欢迎来电垂询。

21、一种用自动化注浆成型技术制备大规格ITO靶材的方法

专利号：ZL201410506957.3

专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所

摘要：一种用自动化注浆成型技术制备大规格ITO靶材的方法，本发明首先将TO粉体通过在水溶剂中加入有机分散剂，同时调节H值，再通过控制球磨工艺制备成高固含量、较低粘度的 ITO 浆料，然后采用微孔模具，以压缩空气作为压力介质，通过逐级加压的方法将较高固含量、流动性较好的ITO浆料压入微孔模具中，浆料中的大部分水分从模具微孔中排出，ITO粉末颗粒在模具型腔中不断堆积而成型出高密度、高强度的均匀大规格ITO坯体，成型后的坯体可立即脱模，脱模后的坯体经过干燥、脱脂和在氧气氛中烧结，可得到大规格、高密度的ITO靶材，本发明的特点是制备的坯体规格大、密度高、强度高、可近净尺寸成型等。

22、管状ITO靶材坯体烧结用同步收缩衬管及其制备方法

专利号：ZL202010360054.4

专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所

摘要：本发明公开了管状ITO靶材坯体烧结用同步收缩衬管及其制备方法，制备同步收缩衬管所用的原料为比表面积为15~25 m·g的四方多品氧化锆粉末或比表面积为18~30m?·g的钛酸锶钡粉末，其制备方法为:在原料中加入占料浆目标固相含量50%的去离子水得到混合液，然后加入分散剂，调节混合液的pH值为9~10，再加入占原料质量1.0~1.5%的粘接剂混合均匀，然后置于球磨机中进行球磨充分得到料浆;将料浆泵入造粒塔中进行造粒得到造粒粉;将造粒粉置于模具中压制成型即得到同步收缩衬管。该同步收缩衬管起到代替球形陶瓷铺料的作用，并且由于同步收缩衬管的收缩率略大于管状ITO靶材坯体的收缩率，起到更好的减少烧结收缩阻力的效果;且减少了烧结前的准备工序，使生产操作更为方便。

23、一种控制氧含量制备TFT-LCD用ITO溅射靶的方法

专利号：ZL201710224204.7

专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所

摘要：一种控制氧含量制备 TFT-LCD用ITO 溅射靶的方法，以 ITO 气化合金粉为原料，加入助剂和水球磨后造粒并压制成坯体，将坯体放入烧结炉后先对烧结炉内进行抽真空，然后逐步控制升温，当升温至脱脂温度后，立即向炉内通入氧气，在0.03-0.05MPa的氧气压力条件下保温脱脂，脱脂后逐步升高氧气压力至0.08-0.1MPa，同时逐步升温至烧结温度进行保温烧结，烧结后降温并停止通氧得到ITO溅射靶。坯体脱脂与烧结一体化，脱脂阶段即开始通氧，既加快脱脂进程，又避免脱脂温度下坯体失氧。抽真空后分阶段逐步提高通氧压力，以最少的通氧量满足不同阶段温度下利用氧气抑制坯体失氧的需求，通氧压力低，设备负荷更小。

24、一种高致密度ITO旋转靶的烧结方法

专利号：ZL201710708857.2

专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所

摘要：一种高致密度ITO旋转靶的烧结方法，包括将原料制成T旋转靶素坯的步和将ITO旋转靶素坏在氧气氛烧结炉中烧制成ITO旋转靶材的步骤。在烧制之前，先在承烧板上放置陶瓷素坯，然后将ITO旋转靶素坯放在陶瓷素坯上，并使ITO旋转靶素坯的底面与陶瓷素坯完全接触，以便在烧制过程中使ITO旋转靶素坯和陶瓷素坯同步收缩，以此消除或减少两者之间的相对位移，从而消除或减少收缩阻力的影响，改善旋转靶顶部和底部收缩不一致的现象，提供靶材均匀性和相对密度。旋转靶各个部位的相对密度之差不大于0.1%，各个部位的内径之差不大于 0.2%。

25、一种制备高性能ITO造粒粉的方法

专利号：ZL201610400659.5

专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所

摘要：一种制备高性能ITO造粒粉的方法，包括以下步骤:称取质量比为9:1的纯度大于99.99%的氧化铟和氧化锡纳米粉末，加入去离子水和分散剂，配成一定固含量的浆料，经砂磨机球磨后，达到一定的细度;加入粘结剂和消泡剂，喷干燥得到粉体;向粉体中再加入旋风粉、一定量的分散剂和水，配成一定固含量的浆料，经高速分散后，再通过喷干燥得到最终的造粒粉。本发明制备出的造粒粉，形貌为实心球形，松装度大，制备的氧化铟锡为单相微米颗粒分散状态，其特性优于团聚粉，流动性好，具有较好的级配，有利于更好地满足高端 ITO 靶材的成型需要。

26、一种制备ITO坯体的自动压力注浆成型装置

专利号：ZL201510146649.9

专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所

摘要：一种制备 ITO 坯体的自动压力注浆成型装置，包括气阀、真空泵、排水阀、空压机、自动注浆机、压机、压机轴、压头、框、外、内、固定台及滑轨，模框、外模和内模构成一套模具，左右两端的固定台通过滑轨被固定在操作台上，滑轨上并排放置数套模具，压头右端联接在压机的压机轴上，在每套模具上端配置气阀，气阀并联在真空泵上，每套模具的下端配置排水阀，自动注浆机通入每套模具坯体型腔的下端，空压机通入每套模具内，将ITO 浆料压入模具中，ITO 浆料中的大部分水分从模具微孔中被排出，ITO 浆料在持续补充下并在坯体型腔中不断堆积制备出大规格的ITO坯体，结构简单，操作方便，自动化程度高，ITO坯体具有密度高、强度高。

27、一种修复SiC承烧板或匣钵的方法及修复粘接料

专利号：ZL201810023776.3

专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所

摘要：一种修复SiC承烧板或匣钵的方法及修复粘接料，按照1:5-1:2的重量比分别取粒径为 10-110nm的 Al0,粉和 30-100nm 的 Si0,粉为修复原料，与环氧树脂胶、淀粉胶以及乙二醇或甘油组成的溶剂均匀混合，制成膏状的修复粘接料;将修复粘接料涂抹在SiC承烧板或匣钵待修复的断面处，施加压力使断面两边的部分粘结固定，在空气气下烧结，使修复粘接料固化，即完成修复。该修复粘接料不仅与承烧板或匣钵基体有很好的烧结粘连性，又须具备相适应的弹性模量，避免了因产生烧结应力而使修补部位再度开裂，所修复的承烧板或匣钵，烧结后修复界面处的反应结合性好，使用20次内不在相同位置产生纹，其修复处烧结后所取试样的抗折强度约12-18MPa。

28、一种单面压力注浆成型模具及ITO平面靶的制造方法

专利号：ZL201810758424.2

专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所

摘要：种单面压力注浆成型模具及ITO平面靶的制造方法，成型模具包括上模和下模，上模包括上模框和上石膏模，下模包括下模框和下石膏模，上石膏模和下石膏模拼合形成坏体型腔，在上石膏模与上模框之间，以及下石膏模与下模框之间均填充有树脂;上石膏模和下石膏模内部均分布有孔隙，上石膏模与其上部的树脂之间设有密闭腔，下石膏模下方设有排水管路。ITO 浆料注入坯体型腔后，向密闭腔内通入压缩空气，通过孔隙对ITO 浆料施压，使水分从下石膏模的孔隙排出。该方式不会产生因上、下模具均同时吸水而造成的坯体中间夹层缺陷。且坏体脱模时，用压缩空气经密闭腔或排水管路吹入石膏模具内部孔隙，均作用于坯体的方式，可解决脱模时的粘模问题。

29、一种旋转靶材的等静压成型模具

专利号：ZL201810236095.5

专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所

摘要：一种旋转靶材的等静压成型模具，包括弹性外模、刚性内模和端塞，刚性内模设置在弹性外模内腔中，弹性外模与刚性内模之间管形模腔的两端分别设有端塞，端塞朝向管形模腔的一侧与待成型粉料之间设有能够随弹性外模收缩形变而与待成型粉料一起被径向压缩的塑性过渡层，塑性过渡层与端塞相接的一面为圆锥形凹面，端塞上设有与圆锥形凹面配合相接的锥形凸起。通过塑性过渡层解决了喇叭状形变和密度不均问题;刚性支撑套和定位装置使粉料填充更均匀，圆弧状金属夹板和柔性层相结合使弹性夹持装置始终紧紧包裹管状素坯，使管状素坯形状规则、壁厚均匀、尺寸精度高，不仅利于烧结得到高性能靶材，同时减少了后期车削量，增加材料利用率，降低生产成本。

30、一种两步分段烧结法制备高致密ITO靶材的方法

专利号：ZL201710224509.8

专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所

摘要：一种两步分段烧结法制备高致密ITO靶材的方法，先将原料制成素坯后在空气气氛下保温脱脂，脱脂之后直接在空气气氛下升温至 800-1300℃保温5-30小时进行第一步预烧预烧后的坯体放置于承烧板上，在氧气气氛下升温至1500-1600℃保温5-30小时进行第二步烧结，烧结结束前1-5小时停止通入氧气，之后随炉冷却得到ITO靶材烧结体。空气气氛下进行预烧能够缩短氧气气氛的烧结时间，大幅降低生产能耗。脱脂与预烧工序合为一体，节约烧结总时间，预烧使得坯体中的颗粒进一步实现均匀化，避免了异常品粒长大，提高靶材的微观均匀性，有利于提高强度和抗热震性能，制成的ITO靶材密度达到7.128g/cm以上。